智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機干泵密封設(shè)計（電機和所有軸承與真空環(huán)路*隔開）延長了軸承的使用壽命，還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護閥內(nèi)置于泵模塊中，可根據(jù)需要使用，不會額外增加泵的高度。

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更新時間：2025-09-17
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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機干泵說明

IDP-10 渦旋式干泵是一款緊湊、高性能的無油真空泵，易于維護。在世 界各地不同的頻率和輸入電壓下，變頻驅(qū)動電機均可提供均一的真空性能。

密封設(shè)計（電機和所有軸承與真空環(huán)路*隔開）延長了軸承的使用壽命， 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護閥內(nèi)置于泵模塊中， 可根據(jù)需要使用，不會額外增加泵的高度。

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機干泵技術(shù)性能

最高抽速 全速條件下 170 L/min (10.2 m3/h)

介質(zhì)	氣體
極限壓力	2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)
最大入口壓力	1.0 個大氣壓 (0 psig)
推薦的最大連續(xù)入口壓力	2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)
標稱電壓下最大出口壓力	1.34 個大氣壓 (5 psig)
入口連接	NW25
排氣口連接	NW16
氣鎮(zhèn)	0.25 英寸美國標準管內(nèi)螺紋（提供 20 µm燒結(jié)插頭）
氣鎮(zhèn)	SAE-2 5/16-24
根據(jù) Pneurop 6602 處理水蒸氣	最大 120 g/h
運行環(huán)境溫度	5-40 °C （41-104 °F）
儲存溫度	–20-60 °C (–4-140 °F)
馬達額定功率	0.5 HP (350 W)； 3? 變頻驅(qū)動
工作電壓	100-127； 200-240 VAC， 50/60 Hz
馬達熱保護	自動熱保護
工作速度	63.33 Hz： 1900 rpm； 45 Hz： 1350 rpm
冷卻系統(tǒng)	風冷
重量	僅泵： 24.74 kg （54.5 磅），運輸重量： 28.1 kg （62 磅）
尺寸（高 × 寬 × 長 (mm)）	297 × 260 × 420
泄漏速度（密封排氣口時）	< 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s)
噪音水平	53 +/- 2 dB (A)
入口處振動水平	7 mms-1 rms
計時器	提供一體式計時器
輻射與抗擾性	EN 61236-1:2013，屬 A 類設(shè)備
安全性	通過 EN/IEC 61010 第 3 版認證

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

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