產品中心

我的位置：首頁 > 產品中心 > HMDS烘箱 > HMDS鍍膜機 > 光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜機

P產品分類RODUCT CATEGORY

HMDS烘箱

HMDS鍍膜機 HMDS預處理系統 HMDS烤箱 HMDS預處理烘箱

A相關文章RTICLES

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜機

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-09-17
訪問量：4625

立即咨詢

聯系電話：021-31434441

產品詳情

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜機用途：
光刻膠倒膠缺陷對于最終的產品良率有著極大的影響。光刻膠倒膠缺陷的產生,很大一部分原因是由于晶圓表面接觸角不佳。光刻的六甲基二硅胺烷(HMDS)涂布工藝正是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。
光刻工藝HMDS鍍膜機，功率MOS器件HMDS鍍膜機特點：

1.HMDS是以氣態形式氣相涂布在器件（硅片、氮化鎵、砷化鎵、藍寶石、玻璃、陶瓷等材料）表面；

2.在顯影過程中無需去除硅片表面的HMDS層；

3.在HMDS上面滴光刻膠甩涂時，光刻膠內的溶劑不會破壞HMDS層；

4.多余的HMDS蒸汽將由真空泵抽出，排放到專用廢氣收集管道，不會造成環境污染；

5.所有制程都在密閉的腔體內完成，操做是不會接觸到HMDS蒸汽，該設備具有HMDS藥液泄漏檢測報警裝置；

6.可保存多個產品制程，制程工藝一鍵完成，無需值守人員。

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜機技術性能：

1.設備品牌：雋思

2.工作室尺寸（mm）： 450*450*450，500*500*600 可定制

3 外形尺寸：以實物為準

4. 材質：設備內腔采用優質耐腐蝕、耐高溫316L醫用級不銹鋼，外箱采用優質冷軋板靜電噴塑或優質不銹鋼，

5. 溫度使用范圍：80-200℃

6. 溫度分辨率：0.1℃

7. 溫度波動度： ≤±0.5

8. 真空壓力： ≤100pa

9.數據記錄：可記錄溫度、壓力等工藝數據

10.工藝安全：具有溫度鎖定功能

11.管路加熱：藥液輸送管道可預熱

12. 控制模式：人機界面+PLC

13.藥液瓶：優質耐壓防爆型

14. 藥液控制：可控制HMDS藥夜添加量

15.真空泵：旋片式油泵或渦旋干泵

16. 保護裝置：HMDS藥液泄漏檢測裝置，HMDS自動添加，超溫保護，漏電保護，過熱保護等

在線咨詢

上一篇：硅橡膠氮氣烘箱，硅膠二次硫化無塵無氧烘箱工業烘箱
下一篇：晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱工業烘箱

91日本在线播放I91禁在线观看I国内小视频在线观看I精品影院一区二区久久久I8x成人在线I亚洲国产成人在线播放I国产亚洲精品久久久久5区

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：

91日本在线播放I91禁在线观看I国内小视频在线观看I精品影院一区二区久久久I8x成人在线I亚洲国产成人在线播放I国产亚洲精品久久久久5区

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜 機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：

光刻工藝HMDS鍍膜機，MOS器件HMDS鍍膜機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。