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半導體烘烤設備

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更新日期
2025-09-16

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全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS烘箱

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2025-09-16

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冷熱沖擊測試機，冷熱循環氣流儀

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2025-09-16

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快速熱處理退火爐，半導體RTP快速退火爐可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火，硅化物形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。該設備具有很好的長時間工作穩定性以及快速升降溫，慢速升降溫功能

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2025-09-16

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不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱應用于目前關鍵的半導體電子行業（如硅片干燥，堅膜烘烤，裝片機后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，雙層無塵烘箱還在LED制造行業中用于烘烤玻璃基板、無機材料行業中用于材料高精度工序。

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