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選擇HMDS烘箱注意事項

更新時間：2022-04-13

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選擇HMDS烘箱的容積
內腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均適用，4寸晶圓可處理200P/次；
HMDS烘箱真空泵的選擇
根據腔體容積，選配合適型號的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。

◆ 全無油泵，不會污染真空系統

◆ 采用獨立馬達與軸承的密封設計

◆ 體積小巧

◆ 具有更低的極限壓強

◆ 無任何可能造成災害性系統故障的機械部件

◆ 低噪聲，低振動

3.HMDS烘箱輔助功能選擇：

◆HMDS藥液泄漏報警提示功能

◆HMDS低液位報警提示功能

◆工藝數據記錄功能

◆藥液管道預熱功能

◆程序鎖定保護等功能

HMDS烘箱有稱為智能型HMDS真空系統通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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