半導體專用厭氧烤箱安保功能：

 短路保護、漏電保護、超溫保護、電機過電流保護、電磁門禁保護。

半導體專用厭氧烤箱用途：

精密無氧烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環境，特別適合半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應用于電子產品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業。

1. 溫度范圍：RT+50～450℃，常用溫度≤400℃；

2. 內箱尺寸：450×450×450mm（寬×深×高）；

3. 控溫模式：曲線升溫

4. 降溫方式：水冷、風冷；

5. 氧含量：≤20ppm;

6. 控溫穩定度：±1℃；

7. 溫度均勻度：≤±1.5%℃；